空氣過(guò)濾器的原型是人們?yōu)楸Ｗo(hù)呼吸而使用的呼吸保護(hù)器具。據(jù)記載，早在一世紀(jì)的羅馬，人們?cè)谔峒兯y的時(shí)候就用粗麻制成的面具進(jìn)行保護(hù)。在此之后的漫長(zhǎng)時(shí)間里，空氣過(guò)濾器也取得了進(jìn)展，但其主要是作為呼吸保護(hù)器具用于一些危險(xiǎn)的行業(yè)，如有害化學(xué)品的生產(chǎn)。1827年布朗發(fā)現(xiàn)了微小粒子的運(yùn)動(dòng)規(guī)律，人們對(duì)空氣過(guò)濾的機(jī)理有了進(jìn)一步的認(rèn)識(shí)。
空氣過(guò)濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。玻璃纖維過(guò)濾介質(zhì)用于空氣過(guò)濾于1940年10月在美國(guó)取得專利。50年代，美國(guó)對(duì)玻璃纖維過(guò)濾紙的生產(chǎn)工藝進(jìn)行了深入的研究，使空氣過(guò)濾器得到了改善和發(fā)展。60年代， HEPA空氣過(guò)濾器問(wèn)世，70年代，采用微細(xì)玻璃纖維過(guò)濾紙作為過(guò)濾介質(zhì)的HEPA過(guò)濾器，對(duì)013微米粒徑的粒子過(guò)濾效率高達(dá)99.9998%。八十年代以來(lái)，隨著新的測(cè)試方法的出現(xiàn)、使用評(píng)價(jià)的提高及對(duì)過(guò)濾性能要求的提高，發(fā)現(xiàn)HEPA空氣過(guò)濾器存在著嚴(yán)重的問(wèn)題，于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA空氣過(guò)濾器。目前，各國(guó)仍在努力研究，估計(jì)不久就會(huì)出現(xiàn)更先進(jìn)的空氣過(guò)濾器。
同時(shí)空氣過(guò)濾器在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用不論是普通高效過(guò)濾器還是FFU，出廠前都要經(jīng)過(guò)逐臺(tái)掃描測(cè)試。國(guó)內(nèi)目前沒有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)，能擠進(jìn)芯片廠的過(guò)濾器廠家是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行掃描測(cè)試的。芯片廠的人認(rèn)為，過(guò)濾器傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣過(guò)濾器在微電子行業(yè)的重要性及應(yīng)用，空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大，普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢就是了。
空氣過(guò)濾器本身的設(shè)計(jì)也取得了顯著進(jìn)展，其中最重要的是分隔板的去除，即無(wú)隔板過(guò)濾器的發(fā)展。無(wú)隔板過(guò)濾器不僅消除了分隔板損壞過(guò)濾介質(zhì)的危險(xiǎn)，而且有效地增加了過(guò)濾面積，提高了過(guò)濾效率，并降低了氣流阻力，從而減少了能量消耗。 |
